二手 VARIAN 3180 #9036780 待售

VARIAN 3180濺射設備是用於物理氣相沈積（PVD）工藝的先進設備。它是一個多陰極系統，可以在真空環境下在各種基板上產生非常薄的導電材料膜。該單元配備了一個超高真空壓力（UHVP）室、一個線性驅動器和一個提供沈積參數精確控制的快門組件。3180提供交流和直流供電模式,允許在不同條件下高效沈積各種材料。該機配備了不同的電源，允許並聯或順序陰極的使用和層厚度的精確控制。子系統，包括沈積室，前面提到的快門，線性驅動器可以單獨控制，讓PVD過程根據特定需求量身定制。高性能壓力控制器，從60到10-5 torr，允許高效和高度可控的薄膜沈積。大驅動器提供從25到500°C的精確線性溫度控制，允許不同材料的高效生長。陰極可以編程循環，能夠提供高沈積速率。VARIAN 3180具有堅固的機械設計,允許長期、可靠的操作。該工具具有診斷和測試資產以及自動測試管理器,可用於診斷指尖準確的模型組件。用戶友好軟件設計用於設置不同的操作和監控流程。3180是生產非常薄的導電材料的高效可靠的方法，精度和精確度都很高。它提供了一系列可針對各種應用程序定制的功能,包括UHVP壓力控制、線性驅動器以及單獨控制和監視子系統的能力。它是廣泛行業中用於PVD工藝的理想設備。