二手 VARIAN 3180 #9077094 待售
網址複製成功!
ID: 9077094
晶圓大小: 4"
優質的: 1987
Sputtering system, 4"
With S/E
(3) Guns
Datatrak controller
(3) 12 Kw DC P/Ss
CT-8 Cryo pump
RFPP RF-10S
1987 vintage.
VARIAN 3180是為超高純度和可重復結果而設計的高性能濺射設備。它是一個小巧、可靠、堅固的系統,提供出色的過程控制和正常運行時間。該單元由三個獨立的源、一個三目標、中頻動力濺射室、一個獨立的雙目標、低頻動力濺射室以及一個控制和電源單元組成。這種獨立的雙目標濺射機具有最佳的工藝控制和良好的均勻性。低頻功率和控制單元提供了實現一致沈積所需參數的精確控制。三目標構型允許多層金屬和球莖沈積,具有非凡的均勻性,而獨立的濺射室在應用特定特性方面提供了靈活性。3180的電源是中頻交流電源,提供比典型低頻直流電源更高的功率和均勻性。三目標配置提供了對目標功率的最大控制,允許精確調整每個目標的薄膜屬性,從而實現可重復性和過程控制。腔室本身提供了一種獨特的陶瓷壁襯技術,可確保整個表面均勻沈積,從而實現極好的均勻性。設計還消除了來自粒子的幹擾,導致更高的均勻性。控制和電源裝置可實現行業標準、用戶友好的過程控制,確保了一致、均勻的薄膜沈積和可重復性。該單元還具有全面的安全功能和一套全面的診斷和過程監控功能。VARIAN 3180是一種高度可靠、用途廣泛的工具,可提供最高程度的過程控制和正常運行時間。它是一種可靠、可重復、可靠的濺射沈積資產,具有良好的工藝控制和簡潔性。它是薄膜沈積的理想選擇,是小型和大型生產應用的絕佳選擇。
還沒有評論