二手 VARIAN 3180 #9105796 待售

製造商
VARIAN
模型
3180
ID: 9105796
晶圓大小: 4"
Sputtering system, 4" CTI8 Cryo pump included.
VARIAN 3180是一種設計用於精密沈積工藝的高度先進的濺射設備。該系統是業界最受歡迎的系統之一,並提供頂級功能。它具有高速率沈積、對精確工藝條件的良好控制以及各種應用所必需的靈活性。3180提供單室、雙目標、可旋轉陰極濺射單元。這種濺射機具有先進的水平特性,提供高精度,以確保可靠和一致的沈積。它提供了對工藝參數的精確控制,允許用戶精確調整沈積速率、氣壓、磁控管尺寸、氣流和電壓/功率。這樣,您就可以根據需要調整每個應用程序的流程參數,從而每次都能提供質量結果。該工具還配備了最先進的計量設備,確保可靠和準確的沈積結果。這包括一個光學加熱/冷卻裝置,一個中心離子槍,以及一個具有溫度和流量控制的基礎壓力表。還包括超精密激光光度計,用於精確計量薄膜厚度。無論環境和基質如何,這都能確保一致的沈積結果。而且,VARIAN 3180提供的靈活性水平無與倫比。它與許多基板兼容,包括金屬、陶瓷、聚合物和玻璃。這種靈活性允許用戶為其應用選擇適當的材料,確保沈積過程產生所需的結果。此外,該室的設計提供了一個統一的生產環境和恒定的壓力在沈積區域。總體而言,3180濺射資產提供了高級別的特性和功能,使其非常適合各種應用,從半導體觸點和薄膜晶體管到光學顯示器和傳感器。其頂級的精密控制、靈活性和精確的計量設備使其成為各種沈積工藝的絕佳選擇。
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