二手 VARIAN 3180 #9131926 待售

VARIAN 3180濺射設備是金屬、合金、絕緣薄膜沈積的通用工具。利用電容耦合磁控管濺射技術，實現了三個磁控管的獨立過程控制，實現了均勻離散的薄膜生長。其3軸機器人自動化允許從基板尺寸到8英寸的完全樣品訪問。3180系統可以手動控制,也可以使用計算機存儲各種材料。該單元為射頻電源和濺射槍組件提供雙室設計。它利用高達3.0 kW的射頻能量，可以沈積非常厚的薄膜。VARIAN 3180也有無限的混合物選擇和獨立的濺射速率來製造多層結構。先進的工藝控制技術包括一種用於反應性濺射的氣體混合機。其高度精確的壓力控制進一步確保了均勻、快速的介質輸送。3180具有散裝沈積能力和圖案化沈積能力。它允許通過數字可編程附件對光圈進行微調控制。它有一個綜合的預清洗設施，為沈積提供更好的試樣表面條件。真空互鎖工具可進行壓力調節和真空感測。VARIAN 3180在緊急情況下還有一個車載斷電資產。3180有許多優點，如優秀的膠片均勻性、內置膠片除水增強的出色步長覆蓋以及流暢的膠片輪廓。它堅固的結構確保了多年的耐用性能,其精確的控制使您能夠沈積非常耐用的薄膜層。操作模型方便用戶，對設備狀態和薄膜沈積過程提供準確反饋。它還具有通用的數據記錄功能,允許用戶監視濺射過程的進度。總之，VARIAN 3180濺射系統是薄膜沈積的有力工具，具有先進的工藝控制技術和多用途的設計。它具有出色的薄膜均勻性、耐用性和人性化界面，對納米技術行業等相關領域的用戶具有吸引力。