二手 VARIAN 3180 #9198797 待售

VARIAN 3180是一種高性能濺射設備，專門設計用於中大規模的研發工作以及商業應用。該系統包括離子源、真空泵、控制器、電源和帶有機械臂的基板支架。該單元的離子源被設計成在腔室中產生高真空，同時也產生大量的氮離子。離子源還能夠產生正離子和/或負離子。真空泵用於維持腔室內的壓力，降低基板支架上的壓力。控制器用於控制機器的壓力、電流和其他參數。3180還設有高壓電源，可提供高達8千瓦的射頻功率和高達400-600瓦的直流功率。電源用於在腔室中產生電場，方便濺射過程。基板支架是一個可旋轉的手臂，最多可容納四個基板，並且可以移動它們以進行基板到基板的濺射。機械臂也可以被編程為將基板移動到室內不同位置，以進行不同的濺射技術。總體而言，VARIAN 3180是一個可靠和高效的工具，用於中大規模的研發工作以及商業應用。該資產提供各種濺射技術，能夠處理各種基材和材料。其高功率電源保證了一致可靠的效果，控制器使濺射過程簡單明了。