二手 VARIAN 3180 #9237469 待售

VARIAN 3180是為半導體分析、微電子制造、金屬沈積等工業和研究應用而設計的板式濺射設備。該系統由一個真空室、一個電源、一個控制單元和幾個濺射源組成。腔室采用不銹鋼制成，呈圓柱形，底座直徑約1090mm，高度1820mm。它的頂部有一個法蘭,可以將濺射源和其他組件連接到該法蘭。該室還配備了一系列視口，允許在機組運行時進行直接觀測。電源是一種高壓高頻發電機，能夠產生高達24.6千瓦的濺射功率。它通過DC-DC轉換器連接到腔室，進一步調節功率輸入，確保穩定運行。此外,還有幾個安全功能,確保機器不會過載,並保持保護狀態。濺射源是一系列小目標，由多種材料構成，對其施加放電。這種放電導致物理濺射，這個過程負責顆粒沈積到被處理的基板上。控制單元是一臺數字計算機，用特定指令編程，以控制其他組件的操作。它能夠設置電壓、電流、濺射時間和其他影響過程的參數，並且可以編程為以後運行重復這些參數。它還連接到遠程計算機以監視和遠程控制工具。總體而言，3180是可靠有效的濺射資產。該型號具有堅固的腔室、強大的電源和精密的數字控制單元,是工業和研究應用的絕佳選擇。可用的濺射源種類繁多，幾乎可以將任何材料沈積到基板上，從而能夠有很大的靈活性來適應不同的需求。