二手 VARIAN 3180 #9238713 待售

VARIAN 3180是一種多功能的直流濺射設備，設計用於多種材料的沈積和蝕刻。利用永磁濺射技術制造出均勻性增強、粘附強度增強的薄膜。這項技術還使復雜的多層堆棧的沈積具有精確的分子分層控制。3180是完全自動化的過程可重復性和更大的吞吐量，它配備了兩個磁控管和兩個目標組件，每個目標組件獨立或組合放大器，用於熱濺射的管腔，可選的儲藏室和智能診斷系統。VARIAN 3180有能力沈積多種材料，包括但不限於介電、金屬、半導體、鐵磁和絕緣材料。它可以執行光學和電氣材料的沈積、保護膜、化學蝕刻、用於設計修改的蝕刻等多種應用，等等。恒定的電源、對每個陰極功率的可調整性以及目標溫度控制使這一單元能夠優化優質薄膜的沈積。3180由一個直徑6英寸的腔室組成，該腔室有三個腔室壁，每個腔壁都有多縫準直儀。頂壁使材料沈積在基板上，底壁幫助疏散腔室，中間壁幫助目標垂直對齊。腔室裝有獨立的氦氣凈化和雙擊，用於還原過程中的氧濃度。沈積過程中壓力從0.001毫巴持續變化到1.3毫巴的能力有助於精確調整工藝參數，優化沈積速率、薄膜厚度和基板均勻性。還提供了多種工藝控制技術，包括可變功率、目標溫度控制和基板旋轉，以提高膠片性能。集成的基於PC的控制器提供了廣泛的配方存儲、過程監控、實時診斷控制和數據記錄功能。此外，計算機控制的基板定位機確保精確的基板位置。VARIAN 3180具有用於薄膜厚度測量的4圈石英晶體監測儀，以及用於沈積過程實時監測的原位和異位反射率測量工具。該資產還配備了一個超聲波浴池，用於在塗層之前清洗樣品零件，以及一個石英電池，用於電導率測量。總體而言,3180提供了單一模型中最高效的沈積、蝕刻和離子銑削功能,使其適合廣泛的應用。其特點使高質量、高通量均勻性薄膜的沈積得到控制.