二手 VARIAN 3180 #9242140 待售

VARIAN 3180設備是一種用於薄膜沈積過程的濺射沈積工具。它配備了獲得專利的Hybrid Magnetron Head （HMH），具有優異的等離子體均勻性，非常適合工業規模生產。HMH結合了靜態和動態磁控管配置，具有精確控制的磁場。這樣可以實現滿足生產標準所需的最佳功率穩定性和均勻性。該系統還擁有一個多目標外殼，具有獨立的氣體導引控制、高功率供應和炮塔旋轉濺射源。它還為用戶提供了數字化過程參數調整控制，使得設置濺射過程快速、容易。3180非常適合物理氣相沈積（PVD），可以產生多種不同的薄膜應用。比如，投資者可以利用濺射沈積工藝，將鋁、鈦、銅、金、銀等一系列金屬應用於耐磨、EMI屏蔽、電鍵等多種應用。由於其雙源配置,它還能夠提供高吞吐量。此外,該工具還提供高級流程控制功能。這包括一個實時監控和數據收集單元，允許用戶分析進程的運行方式並對其進行實時優化。VARIAN 3180旨在提供具有可重復性能的高品質薄膜。通過使用壓力、功率、膠片屬性、均勻性等過程控制指標以及通過自動觸摸屏界面可調節的其他過程參數來確保這一點。對於需要高吞吐量且具有最佳性能的工業應用,此濺射機是理想的解決方案。其多目標配置和高效電源提供了可重復和可靠的工藝結果,使其成為研究和生產環境中的絕佳選擇。