二手 VARIAN 3180 #9269837 待售

VARIAN 3180是一種緊湊高效的濺射沈積設備，旨在滿足實驗室、研究和生產設施的要求。優化了工藝均勻性和沈積率，為各種材料提供了精確控制。它能夠創建多種模式,包括多層薄膜、均勻塗層、復雜形狀和特殊紋理。該系統配有各種腔室配置，以適應各種應用。它的最佳尺寸-足夠小,可以節省空間,但又足夠大,可以適應復雜的任務-將精度、吞吐量和過程控制完美結合起來。它還具有一個真空單元，一個溫度控制的基板支架，和一個良好的絕緣微波等離子體源。該機的獨特之處在於它能夠在同一基板上同時形成多層沈積和濺射的復雜結構。該工具由兩個截然不同的部分組成-工藝室和電源。加工室的設計符合與全尺寸資產相同的要求。優化了內部特性,以實現卓越的工藝均勻性和吞吐量。采用耐用材料制成，耐腐蝕和熱沖擊。電源效率極高,諧波失真低.它包含三個獨立調節的供應：直流偏置、反應性偏置和離子能。這些組件使模型能夠持續提供所需的輸出功率,即使在高溫和濺射速率下也是如此。3180是一種用途極為廣泛的先進薄膜沈積濺射設備。其工作效率、易用性和優越的空間均勻性使其成為大規模和小規模生產應用的理想選擇。