二手 VARIAN 3180 #9278289 待售

VARIAN 3180是為薄膜沈積而設計的最先進的濺射設備。它為一系列濺射應用程序提供出色的性能和控制。3180采用三軸運動控制系統和集成的6站可旋轉基板支架,可確保精確的薄膜沈積速率和均勻性。該單元有一個大的3英寸（76毫米）濺射槍，由一個煙罩保護免受煙霧和顆粒的傷害。最多可以將四把濺射槍連接到機器上，允許單目標和雙目標沈積以提高吞吐量。VARIAN 3180配備了Vacuum 10.1接口，用於同時監測和控制沈積過程。該控制器允許用戶監視和控制沈積速率、流量、壓力和溫度。該工具包括實時溫度和頻率控制均勻沈積。它還支持多達七種工藝氣體，包括氙氣、氧氣、氮氣、氫氣和鹵素。資產可以達到低至1 x 10-4 Torr的壓力，任何商業濺射模型都可以達到的最高。這使得它適用於薄膜光伏、微電子等超高真空濺射應用。該設備幾乎與任何基材兼容，可容納直徑不超過8英寸（200毫米）的基材。該系統采用石墨絲裝置，即使在工作溫度較高的情況下也能提供極好的均勻性和較低的侵蝕率。石墨絲機還減少了電子到達基質的量，使其成為高溫過程的理想選擇。最後,3180提供了出色的安全功能,並提供易於訪問的維護和維修設計。它還配備了橫向運動安全功能，防止在工具運行時濺射槍的任何不需要的運動。總之，VARIAN 3180是一種功能強大且可靠的濺射資產，非常適合廣泛的應用。具有真空10.1控制器、實時溫度和頻率控制以及石墨燈絲模型等特點,具有優異的性能、精度和控制性能。