二手 VARIAN 3190 #50850 待售

製造商
VARIAN
模型
3190
ID: 50850
晶圓大小: 5"
Sputtering system, 5" (3) DC power supplies: Conmag, 12kW Controller: Fluke 1722A Ver: 3.1, CTI-TORR 8, installed.
VARIAN 3190濺射設備是一種多功能、高性能的濺射工具,設計用於將材料薄膜沈積到各種基板上。其最先進的系統采用磁控管濺射技術,允許用戶以高質量和可重復性存放薄膜。3190具有獨特的光源設計,沈積速率高,具有出色的均勻性、更好的步長覆蓋、更大的工藝靈活性和廣泛的膜參數。它還通過先進的工藝控制達到了最高的濺射速率和其他均勻濺射性能。VARIAN 3190是一種強大的多目標濺射系統,可用於包括透明和二進制薄膜在內的多種材料,以及有機薄膜、電介質和導電層。它支持廣泛的應用,包括存儲介質、平板顯示器、數據存儲、光學組件等。設備有三種不同的配置,具體取決於每個用戶的需求。它可以在1 x 2的布置中容納最多三個目標,並且包括最大功率為2700瓦的RF/DC電源。機器還提供了廣泛的工藝參數和參數。3190還提供了一些自動化選項,以提高效率。這包括用於輕松處理樣品的旋轉手推車、用於更大的工藝控制和樣品測量的自動關閉,以及用於精確控制薄膜特性的厚度映射功能。總體而言,VARIAN 3190是一款可靠且用途廣泛的濺射工具,配備了最新技術,非常適合廣泛的應用。
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