二手 VARIAN 3190 #9002890 待售

VARIAN 3190
製造商
VARIAN
模型
3190
ID: 9002890
晶圓大小: 5"
Sputtering systems, 5".
VARIAN 3190是一種濺射塗層設備,用於物理氣相沈積(PVD)和表面清潔。這種先進的設備具有自動濺射源、陽極和目標成形電極系統以及高真空室。3190專為高效、一致的濺射而設計,非常適合半導體制造和其他工業應用。VARIAN 3190能夠濺射各種材料,包括金屬、矽和其他非金屬化合物。它還具有用於精確塗層控制的大型目標成型電極單元。它還能夠高精度地濺射,具有非常均勻的粒徑,確保最高質量的塗層。該機器還能夠處理直徑不超過1英寸、高度不超過4英寸的樣品。性能方面,3190具有廣泛的蒸發範圍,從超低功率到超高功率。它是高真空室,泵送速度高達5E-4 Torr。該腔室還采用了專利節流設計,確保了塗層過程中的可重復性和最小的顆粒碎片。此外,該工具的運輸資產具有快速的材料匯率,允許及時進行樣品處理和吞吐量。VARIAN 3190也有先進的控制型號。這允許用戶在周期中精確監視濺射和其他參數。它還允許操作員對處理參數進行快速和可預測的調整,以滿足特定的要求。最後3190易於使用和維護。它設計用於最小程度的用戶幹預,具有自動啟動和關閉序列。維修所需經費極少,因為設備包括自動清潔功能,便於定期清潔和維修。總體而言,VARIAN 3190是一種可靠、先進的濺射塗層系統,適用於精密塗層應用。其自動化特性、可調蒸發範圍和可靠的控制單元使其成為尋求高效、一致的PVD處理結果者的理想選擇。
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