二手 VARIAN 3190 #9056309 待售

VARIAN 3190設備是一種先進的超高真空濺射系統，設計用於將薄膜高精度沈積到多種基板上，用於電子、醫療、光學等多種應用。這種濺射裝置利用了許多組件，包括離子源、電源、高真空室、旋轉進給通路和儀表盤。3190的離子源是射頻（RF）等離子體發生器。它能夠在廣泛的底物溫度範圍內產生高度電離的等離子體，這有助於確保膜的均勻沈積。射頻等離子體發生器還具有可根據需要調節等離子體強度和均勻性的自動功率控制。機器的電源提供精確的電源控制和電壓調節,以獲得一致的結果.它允許用戶為每種使用的基板設置精確的功率電平和電壓。此外,它還具有電弧感應和點火保護功能,以防止損壞刀具的組件。高真空室是為沈積過程提供密密麻麻環境而設計的不銹鋼室。它配有兩個密封腔室兩半的高精度墊圈，保證了薄膜沈積的真空環境。其溫度範圍為-67 °F至662 °F，提供了廣泛的應用。旋轉進給通路提供了一種在不打開真空的情況下將基板引入腔室的方法。這樣可以減少對腔室的汙染,並有助於確保膜的均勻沈積.進料通路內置在腔室底部，便於進入。儀表盤位於腔室側面，為用戶提供工藝參數的讀數和控制。它還包括一個真空計來監測室內的壓力。總體而言,VARIAN 3190是一種強大的高精度濺射資產,旨在生產精確、均勻的薄膜塗層。它具有廣泛的功率和溫度設置，以及集成的旋轉進給和儀表板。這使得它成為各種應用程序的理想選擇。