二手 VARIAN 3190 #9105395 待售
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ID: 9105395
晶圓大小: 4"
Sputtering system, 4"
Standard system
Includes:
RF Etch
RF10S power supply.
VARIAN 3190是為各種濺射過程而設計的濺射設備。它由包含腔室、真空單元和沈積源的大型機系統以及4軸負載鎖定控制面板、定位器和電源組成。3190室和真空機為基於濺射的分析提供了最佳環境。它使用渦輪泵和7孔旋轉泵，真空水平降至2x10-4 Torr。為了達到理想的真空，使用真空線和閥門將腔室與泵隔離。沈積源是一個行星沈積源，它可以同時將物質沈積到幾個基質上。它通過創建一個旋轉場而起作用，該旋轉場導致近單層濺射到基板上。當一種氣體和一種稀有物質的組合用於濺射沈積時，就會發生這種情況。VARIAN 3190的4軸載荷鎖定控制面板使得在腔室內裝載、卸載、移動和放置多個基板成為可能。它利用安裝在三個軸上的獨立線性執行器來工作，以保持對每個基板位置的精確控制。該工具還包括一個定位器和電源，為沈積過程提供額外的控制和穩定性。定位器使資產能夠獲得更大範圍的角度,並能夠將基板定位到完成作業所需的確切位置。最後,電源提供高達1000瓦的各種功率級別。總而言之，3190是一個強大的濺射模型，它為各種應用提供了卓越的精度和控制水平。憑借其先進的工具和功能,它非常適合各種過程,並且能夠提供高質量的濺射效果。
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