二手 VARIAN 3190 #9184623 待售

VARIAN 3190濺射設備是一種高通量PVD系統，旨在生產質量和品位一致的表面塗層和薄膜。此單元非常適合任何需要精密表面處理的應用。3190使用雙室雙源真空機。工藝室通常保持在10-6 mbar的底壓。工具的沈積側由一個負載鎖和濺射源腔組成，配有快門控制的電阻離子束源（RIB）。RIB包含一個脈沖直流磁控管濺射源，允許模塊加載和卸載。此外，VARIAN 3190還配備了高頻、低能離子源，用於沈積材料的反應性離子蝕刻（RIE）。3190中的基板溫度可從室溫調整至500 °C。它還具有真空控制的氣體噴射資產，用於處理表面的氣動蝕刻，進一步增強了模型的功能。不僅VARIAN 3190能夠產生高度均勻的薄膜,而且它的模塊化設計允許快速的材料轉換。這樣可以在很小的空間內實現精確的可重復性和優化的吞吐量。此外，3190還配備了現場質譜儀，用於端點探測，確保沈積層在濺射過程中始終保持高質量和一致。總之，VARIAN 3190是一種先進的PVD設備，能夠生產超高質量的表面和微層材料。其氣體註入系統、RIE源和原位端點檢測都有助於提高工藝穩定性和重復性。