二手 VARIAN 3190 #9198796 待售

VARIAN 3190是一種最先進的超高真空（UHV）制備濺射設備，用於制造薄膜和/或目標，用於各種科研應用。這種高科技儀器專門設計用於將導電、保護性或絕緣薄膜或目標沈積到半導體、金屬、絕緣或光學透明基板上。3190是一個先進的濺射系統，利用兩個獨立的柔性濺射源，最多四個真空采樣階段，以及一個全面的軟件包，準確可靠地創建薄膜和/或目標。兩個獨立的濺射源允許對多個樣品進行多次同步處理，便於大批量處理。四個多區真空采樣級分別配備渦輪水泵、130升/秒渦輪分子泵、機械式前泵以及多個氣源，用於腔室調理和過程控制。此外,VARIAN 3190還包括一整套軟件選項,以實現精確的流程控制和數據收集。具有高度靈活的命令集，該單元的軟件可以監控和調整蒸發溫度、氣壓、濺射功率、濺射速率等多種奇特的過程參數。該軟件還允許對濺射源進行精確的空間控制，以及使用交替濺射槍的過程，使得復雜的陰影和摻雜過程成為可能。此外，3190提供了包括互鎖電路、報警器、壓力溫度傳感器等多種安全措施，確保機器安全可靠運行。最後，高超高壓環境保證了工藝的準確性，為薄膜或目標的沈積提供了最佳的設置。綜上所述,VARIAN 3190是一種最先進的濺射工具,旨在高效可靠地沈積薄膜和/或目標。它的兩個獨立的濺射源、四個多區真空階段和綜合軟件包使其成為研究應用的強大工具。此外，對濺射源的安全措施、高特高壓環境以及精確的空間控制，使資產能夠準確高效地執行復雜的濺射過程。