二手 VARIAN 3190 #9237465 待售

製造商
VARIAN
模型
3190
ID: 9237465
晶圓大小: 5"
Sputtering system, 5" Power cabinet: (3) Gun controls Control cabinet Cryo pump Does not include compressor.
VARIAN 3190濺射系統是用於薄膜沈積應用的一種強大而可靠的設備。它旨在將材料薄膜沈積在受控大氣中的基板上。在濺射中,物質通過等離子體引起的粒子轟擊從目標源轉移到基質上。3190使曲面的修改具有高精度、重復性和多功能性。該系統提供了一個可調的光束能級,允許用戶調整濺射速率,從而產生各種各樣的薄膜特性。它還利用多表配置最大限度地減少目標和基板之間的粒子碰撞。它的高級可編程控制器面板允許用戶設置和控制目標大小、形狀和目標到基板的距離等多個變量。VARIAN 3190還通過其多目標磁屏蔽(MTMS)功能提供了高水平的基板均勻性。MTMS可防止雜散顆粒從濺射過程中轟擊基板,從而消除沈積膜的針孔。它還確保在濺射過程中顆粒的目標到基體的距離和軌跡一致。在安全方面,3190配備了保護罩,每當操作員開始沈積過程時都會阻擋直接視線。它還配備了一個排氣系統,減少噪音排放,並保持一個無危險的工作區。VARIAN 3190是一種強大可靠的濺射工具,可用於各種沈積過程。它提供了廣泛的可調光束參數、可編程控制器面板和MTMS技術,為用戶提供了先進的薄膜沈積應用所需的精度。它還提供了安全舒適的工作環境所必需的高級安全功能。
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