二手 VARIAN 3190 #9277865 待售

VARIAN 3190是為先進薄膜沈積而設計的移動式濺射設備。它具有6站工藝室配置，並配備了最先進的電子和組件，提供可靠和可重復的結果。該工藝室最多可容納六個濺射室，對每個工藝室提供獨立控制，允許復雜的層構造和方便的配方轉移。該腔室是真空兼容的，具有5分鐘以下的快速泵降時間。利用內置的渦輪分子RGA，它能夠將腔室壓力控制到10-6 Torr下的極限壓力。腔室可配置平面、直線或柱式目標,最高可達到14 「x 8」,並可提供高達5000瓦的功率。3190配備先進的工藝控制系統，可用於監測濺射速率、源電流、基板溫度、沈積速率等工藝參數。過程控制單元允許優化處理參數，以獲得最佳結果。機器是一個高度自動化的過程,配方存儲到內部PC中。這樣就可以快速設置和傳輸配方,以及簡化流程跟蹤和流程優化。此外，VARIAN 3190能夠沈積廣泛的材料，包括金屬、氧化物和氮化物，並支持廣泛的沈積技術，從直流電（DC）到高頻（HF）濺射、電子回旋共振（ECR）濺射，以及緊密耦合的磁控管濺射。3190為實驗室和工業濺射應用提供了極好的選擇,提供了可靠、可重復的工藝,具有可變塗層和出色的低k處理能力。VARIAN 3190具有強大的設計、多用途的工藝能力和先進的工藝控制,是現有最好的濺射系統之一。