二手 VARIAN 3190 #9278288 待售

VARIAN 3190是為單目標或多目標應用而設計的中型多目標磁控管濺射設備。3190是一個高度自動化和可靠的濺射平臺，配備了一系列創新功能，以提高運營效率。基本的VARIAN 3190系統由一個射頻電源、一個直流電源、一個高真空單元以及一個或多目標濺射室組成。射頻電源以13.56MHz的頻率產生交流電源,最大輸出功率高達10kW。直流電源最多可為1.5kW供電,最大工作電壓為-50/-120V。高真空機配備了高真空泵、全方位檢測器、高流量真空工具。3190的濺射室配備了大功率射頻（RF）屏蔽，由球形真空室、內部磁鐵和場線組成，保證從射頻電源到濺射目標的最佳能量傳遞。目標本身被安裝在一個特殊的後備目標支撐上，這樣可以防止它們在濺射過程中移動。支持目標支持還提供了更改目標的簡便方法。VARIAN 3190提供了一系列功能,使其成為研發和生產應用的理想資產。射頻電源提供可編程脈寬調制（PWM），用於精確控制濺射沈積速率。直流電源允許對濺射材料進行定向控制,從而提供更大的靈活性。高頻射頻源也產生小至35納米的特徵尺寸。3190的濺射室還提供了一些附加功能。其中包括精確控制目標溫度的能力，以及精確控制腔室內氣壓的能力。VARIAN 3190還提供一系列安全功能,包括壓力互鎖和低流量關閉,以提高安全性和可靠性。3190濺射模型為濺射沈積應用提供了靈活性和準確性。它具有可靠、高性能的設備設計,可輕松集成到一系列研究、開發和生產應用中。VARIAN 3190是一個可靠且成本效益高的濺射系統，可以在一系列科學和工業環境中使用。