二手 VARIAN 3280 #31504 待售

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VARIAN 3280
已售出
製造商
VARIAN
模型
3280
ID: 31504
晶圓大小: 6"
Sputtering system, 5", as is.
VARIAN 3280是一種強大的濺射設備,設計用於在大基板區域上濺射薄膜。它為光學、電子和磁性材料研究的應用提供了靈活、經濟高效的解決方案。這種濺射系統結合了先進的長壽命電子束槍和自動三軸運動控制單元以及內置的環境和過程控制。3280機的設計使濺射更容易控制,使用戶可以精確調整壓力、溫度、電流和基板位置等參數。該工具配有電子束槍,具有較大的光斑尺寸和高度可調的束電流,允許重復的過程優化。光束電流可以在從0到300mA的各種值範圍內精確調整,從而使資產即使是最具挑戰性的材料也能濺射。為了確保一個一致的濺射塗層過程,VARIAN 3280還采用了專門的環境控制。集成的自動化大氣控制模型允許實時監測氧氣、氙氣和氮氣水平,以確保清潔、高效的過程。此外,該設備還包括一個板載溫度監測系統和一個綜合壓力控制單元,以幫助在大型基板區域保持一致的濺射塗層溫度。最後,3280提供了一個強大的三軸運動控制機,可以方便地濺射覆蓋範圍均勻的大基板區域。這款運動控制工具配有集成真空密封件、高分辨率編碼器模塊和異步電機驅動器,使其能夠提供光滑均勻的薄膜沈積。綜上所述,VARIAN 3280是一種功能強大、經濟實惠的濺射資產,旨在將薄膜濺射到大型基板區域。該模型具有先進的電子束槍、精密的環境和過程控制,以及強大的三軸運動控制設備,以確保可靠和可重復的濺射塗層過程。3280是光學、電子、磁性材料研究應用的理想選擇。
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