二手 VARIAN 3280 #9148915 待售

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VARIAN 3280
已售出
製造商
VARIAN
模型
3280
ID: 9148915
Sputtering systems.
VARIAN 3280是由生產級半導體加工設備制造商VARIAN Semiconductor Equipment制造的濺射設備。這種濺射系統適用於各種應用,適用於低音量和高音量的程序。3280是一種最大運行功率為3900瓦的大功率機組。它采用單端發電機,由主發電機電源供電,設置電源提供穩定的直流輸出。這臺機器提供了廣泛的基材尺寸,也能夠進行多層處理。該工具高度可靠,維護最少。VARIAN 3280中的濺射靶材通常是塗覆的ti鎢或銨,可以通過直接附著的方法附著在基板上。保持高電流密度,用戶可以根據需要增加或減少電流密度。基板安裝資產由兩個不銹鋼級和一個帶有安裝支架的靜電夾具組成,可根據特定應用需求輕松配置。整個單元被封閉在一個容量高達10-6 Torr的真空室內。該裝置的溫度保持在最低520°C,適用於可用於濺射的高反應性金屬。整個單元易於操作,可編程各種設置,包括脈沖功率操作。用戶界面交互性很強,允許用戶輕松監控濺射過程的狀態,並為可重復的結果設置參數。總體而言,3280是一種優質可靠的濺射模型,適合多種應用。它非常可靠且易於操作,提供最低限度的維護並確保一致的結果。該設備在一系列材料中提供了堅固而強大的濺射功能,可用於各種應用(如電鍍、塗層和擴散等)的薄膜沈積。
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