二手 VARIAN 3290 STQ #9154643 待售

VARIAN 3290 STQ濺射設備是提供高級工藝能力的先進沈積系統。它旨在提供可靠、可重復的性能和高品質的薄膜，以滿足各種應用的最嚴格要求。該單元配備了堅固、多價的腔室，直觀靈活的軟件界面，以及各種濺射目標和基板。VARIAN 3290STQ腔室用於控制沈積過程，在提供卓越工藝控制和可靠性的同時，實現了高度的可重復性和準確性。該腔室采用鐘形結構，能夠很好地進入沈積區，並允許快速的底物裝卸。可以選擇磁控管或二極管濺射源來沈積各種金屬的薄膜。此外，機器還可以使用廣泛的基材尺寸和形狀，包括晶圓、基材和任何其他不規則形狀。3290 STQ的強健軟件接口被設計成能夠方便直觀地控制沈積過程。工具優化的各個方面，如材料參數、功率設置以及其他與沈積過程相關的參數都可以配置為滿足特定的要求。該資產還具有自動配方腳本,可簡化優化過程並確保一致的結果。模型中還包括獨特的自適應過程控制算法，以提供更高級別的過程控制，減少過程的可變性。該設備還具有傾斜能力，允許在監測反應過程的同時采用從低功率到高功率的階梯式沈積方法。3290STQ系統帶有各種濺射目標和基板，以滿足最苛刻的要求。VARIAN可以提供標準或定制的高純度、高密度目標選擇,無論是否有終身保修。基材包括石英、陶瓷和藍寶石晶片，以及其他需要特殊性能特性的應用基材。總體而言,VARIAN 3290 STQ提供了先進的濺射系統功能和功能,並提供可靠、可重復的性能和高質量的薄膜。其直觀的界面和廣泛的濺射目標和基板使用戶能夠在控制過程變異性的同時實現過程優化。