二手 VARIAN 3290 STQ #9188626 待售

VARIAN 3290 STQ是一種高度先進的濺射沈積設備，旨在提供一致可靠的濺射過程。其特點使其適合廣泛的工業和研究應用。VARIAN 3290STQ通常用於將薄膜濺射到金屬、半導體、電介質、聚合物和陶瓷等多種材料的基板上。該系統有兩個主要組件：真空室和離子源.這兩個組件都集成到一個單一的、緊湊的設備中。真空室由外筒、內筒、霜壁組成。要求外部氣缸營造低壓環境，而內部氣缸和霜凍壁則確保對基板溫度和濺射位置的嚴格控制。濺射槍是位置和可調的，允許精確的濺射覆蓋基板。離子源負責產生用於濺射目標材料的高速離子。該單元具有高度可調性，允許各種不同的目標材料用於不同的應用。該源能夠產生高達12 kW的功率，足以濺射各種金屬和半導體。3290 STQ還配備了最先進的過程控制系統。PID控制器和SCADA系統允許對整個濺射過程進行精確控制,確保每次結果一致。此外,該機器的設計便於與其他組件集成,從而實現了適用於各種應用程序的通用設置。總體而言，3290STQ工具旨在提供可靠的濺射過程，並對整個沈積過程進行精確控制。其可調的離子源和腔室構型使其適用於廣泛的應用，而其過程控制特性提供了一致的結果非常精確。