二手 VARIAN 3290 STQ #9248600 待售

VARIAN 3290 STQ是由VARIAN制造的反應性離子濺射設備。它用於工業應用，例如在一系列材料上沈積薄膜，包括半導體、玻璃、塑料和金屬。該系統非常適合汽車、航空航天、醫療設備、電子產品和其他需要高質量和可靠濺射薄膜的行業。VARIAN 3290 STQ的設計最大限度地提高了濺射膜的工藝吞吐量和均勻性。該單元由兩個或三個可調節的目標、一個或多個氙氣平面磁控管、一個大功率直流電源以及一個用於精確參數設置和監控的控制器組成。每個目標都可以配備一個單獨的磁控管，允許獨立調整磁場強度和離子與中性的比率。高電源允許高達70 µm/min的濺射速率,從而確保高沈積率的優質薄膜。3290 STQ提供了多種功能來改善過程控制和可靠性。它提供了先進的電弧防護技術，消除了傳統的陰極電弧。這種先進的技術允許通過檢測和調整檢測到弧時的參數來提高目標利用率。計算機還具有一個進程監視工具,用於在操作過程中發生任何問題時向用戶發出警報。此外，該資產利用等離子體源模擬特征來測量等離子體的離子通量和能量分布。這樣可以進行可靠的過程控制,並減少功耗和濺射時間。3290STQ還包括診斷、報告和設備健康信息,這有助於提高流程穩定性和準確性。總體而言,VARIAN 3290 STQ是一種可靠的濺射模型,它提供了一系列功能,可實現最大的過程吞吐量和濺射膜的均勻性。先進的防弧技術結合過程監測和等離子體源模擬，保證了濺射沈積的一致性和準確性。流程診斷和報告功能改善了設備的運行狀況,並確保了可靠的流程。需要高質量、可靠的濺射膜的制造商將從VARIAN 3290STQ中獲益良多。