二手 VARIAN 3290 STQ #9255762 待售

VARIAN 3290 STQ是一種先進的濺射設備，用於半導體行業的各種薄膜應用。它是一種高通量共濺射工具，能夠以高速率沈積高質量、均勻的薄膜層。該系統允許多個目標配置與多個精確控制的濺射過程串聯。多目標單元可確保薄膜厚度和均勻性在各種基板上一致。沈積膜的均勻性是通過控制各種沈積參數如工藝壓力、沈積速率、目標偏差、源和基板溫度、目標到基板距離等參數來實現的。VARIAN 3290STQ的優越性能得益於其高效的基板加熱能力。這有助於在任何基板幾何形狀上實現膜厚度和組成的高度均勻性。健壯的機器還提供可調視線和目標到基板的距離，以及PVD、磁控管、電子束濺射等多種工藝模式。3290 STQ專為易於使用而設計,並帶有直觀的用戶界面。設計功能包括自動壓力和溫度控制、實時配方編輯、多點源驗證和實時壓力讀數。此外,該工具還包括一個自我診斷菜單,允許操作員輕松排除任何資產問題。3290STQ還包括一系列安全功能,以確保用戶的安全。這些功能包括先進的安全通道、氣體關閉閥、雙止回閥和自動關門，此外，該型號還包括堅固的水設備，以確保防止過程汙染。整體而言，VARIAN 3290 STQ是一種高性能濺射系統，能以高沈積速率沈積高質量、均勻的薄膜層。其精密控制的傳感和安全基礎設施使其適合廣泛的薄膜應用。