二手 VARIAN 3290 STQ #9262677 待售

VARIAN 3290 STQ是一種濺射沈積設備，能夠在基板上塗覆多種材料。它能夠生產廣泛的薄膜類型，包括導體、電阻材料、絕緣體、電介質、氧化物、氮化物和合金。它提供了與特殊的濺射源（例如氙離子和脈沖直流噴槍）接口的能力，開啟了磁控管濺射的可能性。VARIAN 3290STQ主要是一個濺射系統,它在單個平臺中提供多種工藝技術。它提供了常規直流電濺射、固定和交替氧混合中的反應性濺射、高達四源構型和可緩沖反應性濺射的能力。通過使用這些不同的技術，它可以在較低的溫度和更好的均勻性下實現較高的沈積速率。此外，3290 STQ為定制材料沈積提供了靈活性，例如那些需要特定結晶結構的材料。該裝置具有清潔度和低接觸汙染的特點，使沈積層具有更高的純度，並產生更光滑、質量更高的光潔度。這可以通過它的自動負載鎖300 mm和晶圓轉移機制以及它的自動腔室清洗來實現，減少過程引起的汙染。3290STQ機還提供了卓越的精度基板位置控制與制造商的專利面罩準直工具。這有助於在千分之一英寸內提供可重復的薄膜厚度和均勻性。該資產的光學器件具有清晰的幹涉濾波器來隔離傳輸的波長，其設計有助於減少或消除缺陷。由於缺乏傳統的元素交叉汙染，它提供了更高的可靠性和可重復性。總之，VARIAN 3290 STQ是一種非常先進的濺射沈積模型，能夠準確一致地將各種材料塗覆到基質上。它能夠以無與倫比的精確度生產出種類繁多的薄膜類型，其先進的技術使它能夠提供流暢的光潔度、出色的均勻性和精確度。通過利用其工藝控制能力，這種設備可以幫助提高生產率和降低成本。