二手 VARIAN 3290 STQ #9294608 待售

VARIAN 3290 STQ是為薄膜沈積過程而設計的濺射設備。它是一個垂直系統，提供多達四個磁控管濺射電極和多達四個平面射頻/直流或直流磁控管。VARIAN 3290STQ單元能夠執行各種薄膜沈積過程，如離子輔助沈積（IAD）、反應性濺射和各種其他薄膜沈積技術。其更大的腔室尺寸可以支撐更大的基板。3290 STQ設計方便,具有直觀和符合人體工程學的用戶界面。它提供了簡單、用戶友好的設計,使其更易於操作,並配備了高級圖形用戶界面（GUI）以增強功能和操作。其真空機最大工作壓力為5x10-7 Torr，泵的停機時間經過了短周期優化。還包括一個用於快速抽空腔室的綜合教育器。3290STQ工具還具有較高的基板加熱速率，以便快速達到所需的目標溫度。它配備了一個獨立的、兩個區域的4kW RF/DC電源,可實現高性能薄膜沈積的精確控制和精確均勻性。此外,頻率敏捷功能還為高級應用程序提供了額外的控制和靈活性。資產還具有用於處理選項的高級壓力控制模型（PCS）。這種內置的PCS技術確保了準確和可重復的壓力控制過程。它允許高端流程或定制可編程配方的周期可重復性,從而確保一致的可生產結果。PCS還能實現惰性或反應性氣體混合能力，對沈積參數提供額外的控制。VARIAN 3290 STQ也有遠程監控設備。該系統可用於查看設備的狀態、溫度讀數、電流消耗以及其他操作數據。內置以太網端口可確保用戶能夠輕松集成遠程監視計算機。該工具的安全協議也是高度可配置的,可以根據每個用戶或應用程序的需要進行定制。總之,VARIAN 3290STQ是一種多用途的資產,設計用於要求苛刻的薄膜沈積過程.其內置功能可實現精確控制和可重復結果,而直觀的用戶界面以及可編程的配方使其易於使用。它的以太網端口允許遠程監視功能,而其先進的PCS技術則確保了準確性和一致的生產時間。