二手 VARIAN 3290 #148077 待售

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製造商
VARIAN
模型
3290
ID: 148077
晶圓大小: 6"
優質的: 1998
Sputtering system, 6" (3) Quantum targets (1) Etch NW3000 Control system: Components 12.1" Touch monitor NW3000 Software with Win7 Wafer process controller Wafer loader controller I/O Box Cassette motor controller: Components Stepping motor & Sprocket Motor Cable 1998 vintage.
VARIAN 3290是一種最先進的濺射設備,設計用於生產高質量的材料沈積和分析。它是一個三口袋系統,允許將兩種不同的材料沈積成兩個單獨的口袋。沈積過程由VARIAN計算機工程師創建的計算機控制程序控制,它允許將不同的材料非常精確地沈積到不同的基板上。3290能夠紡制和固定多達500 mm的金屬基板,非常適合研究與開發(R&D)應用。該裝置具有高度精確的壓力和真空控制器,能夠在整個濺射過程中實現精確的濺射速率和基板均勻性。此外,它還配備了五級氣體輸送機,能夠在高度受控的環境中實現精確可靠的氣體添加。這使得沈積溫度能夠得到準確的監控和控制,以獲得卓越的性能。三袋工具有幾個功能,旨在確保材料質量和均勻性的最高水平。磁控管濺射技術的使用可以實現極其精確的材料沈積,無論是對於需要強附著力的多層層,還是對於不同基材中的精確膜厚度。此外,該資產能夠利用三種不同的氣體環境,從而實現更快的沈積速率、更高的準直器效率、降低的濺射功率和更高的材料純度。高級光學檢查模型的集成進一步使VARIAN 3290能夠確保實現精確的材料厚度和分布。還提供可選的四幅相機設備,非常適合測量小細節和識別超薄材料層。該系統具有多區工藝控制能力,具有精細的間距精度和優異的沈積均勻性。3290設計為可靠且耐用的設備,在每一個應用程序中均提供卓越的性能。它是一種易於使用和維護的機器,因為它包括維護診斷和校準工具,如內存映射、實時監控和準確的屏幕讀數。該工具還附有一個全面的用戶手冊,為操作員提供詳細的說明。
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