二手 VARIAN 3290 #166882 待售

VARIAN 3290是一款強大的濺射設備。濺射是一種物理氣相沈積（PVD）工藝，通過該工藝，物料從目標上脫落，並以受控方式輸送到基板上。3290是為等離子體增強沈積而設計的，最高可容納六種來源的材料。VARIAN 3290系統由標準的Windows™接口控制,允許輕松訪問設備控件、進程參數和數據記錄功能。它具有增強的用戶界面和專用配方語言,允許輕松更改、監視和記錄流程變量。模塊化設計允許用戶根據自己的需要定制自己的機器組件。3290濺射工具配備了多槍和動態控制能力，使用戶能夠同時控制多個目標。雙槍選項是VARIAN 3290的獨特功能，它使用戶可以擁有兩把具有獨立控制參數的槍，可以用於響應式濺射。該設備配有脈沖DC™射頻發生器，具有優異的離子轟擊性能，提高了濺射層的附著力，提高了薄膜沈積速率。此外,DC-Bias Option允許在臺階高度較大的基板上實現均勻覆蓋。3290是一款用途廣泛、應用範圍廣泛的多功能機型。VARIAN 3290具有堅固的特性和卓越的性能,為從真空金屬化到精確的薄膜沈積的各種濺射過程提供可靠、精確的控制。可用於氧化物、氮化物、金屬等多種材料，也可用於金屬化、塗層、半導體器件制造。其精確的控制和快速的處理時間使其非常適合工業和研究應用。