二手 VARIAN 3290 #9043983 待售

VARIAN 3290是由VARIAN Technologies Inc制造的自動濺射設備。它是一種用於薄膜精密高效沈積的高壓低溫塗層系統。這種獨特的裝置能夠生產高質量、可重復的層層薄膜，組成精確，厚度均勻。該機由自動濺射目標、基片處理器、RF/DC電源、真空工具和氣體面板組成。濺射靶為異外軸結構。目標材料（通常是金屬、半導體或超導體）在清潔真空和高純度載氣的良好控制環境中濺射到基板（通常是矽片）上。濺射是一種先進的膜形成沈積過程，其中金屬薄膜是通過用高速熱電子粒子流轟擊目標表面而形成的。RF/DC電源提供高直流和RF功率級別,並具有出色的控制和穩定性。為薄膜均勻沈積提供了對底物溫度的精確控制。在濺射過程中，將氣體面板連接到資產上，以引入和控制載氣。3290模型還具有通過向沈積室引入射頻能量來產生等離子體環境的設施。該設備的典型操作參數為高達1000 °C的高腔室溫度和高達1000伏的低電壓，允許厚膜沈積，但對薄膜沈積的精確控制。VARIAN 3290的真空系統由連接到泵的真空室組成。室內壓力控制在10-4以下的濕度水平，以保持環境的純度，保證膜厚度均勻和質量。3290是生產高質量、組成精確、沈積厚度均勻的薄膜層的可靠高效單元。自動濺射功能可確保結果與可重復輸出一致,使其成為各種薄膜應用程序的理想選擇。這臺機器的先進特性使其成為研究和工業用途的絕佳選擇。