二手 VARIAN 3290 #9075491 待售
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ID: 9075491
優質的: 6"
Sputtering system, 6"
(3) Target assemblies: Conmag II
Station 1: Heated etch with AE RF-10 power supplies
Station 2: Heater table with conmag II
Station 3: Heater table with conmag II
Station 4: Heater table with conmag II
(4) Temperature controllers: EUROTHERM 818
Controller: FLUKE 1722A modified with flash drive and floppy drive
Multimeter: AGILENT / HP / HEWLETT-PACKARD / KEYSIGHT 3438A
Ferrofluidic transfer plate feedthru grade
(3) Ferrofluidic shutter feedtrhu upgrades
Ion gauge controller: VARIAN 880
Remote power supply panel, digital readout
Etch matching unit controller with digital readout meters
RF RWD & REFL Remote meter panel
Cryo pump: CTI CT-8 with SC compressor
Does not include dry scroll mechanical pump
Power supplies:
Target 1: inner 2.5kW, outer 12kW
Target 2: inner 2.5kW, outer 12kW
Target 3: inner 2.5kW, outer 12kW
1989 vintage.
VARIAN 3290是一種最先進的設備，能夠在直徑達300 mm的基板上提供高精度的濺射工藝。3290是需要精確控制沈積過程的研究和生產應用的最終解決方案。結合了高速、目標利用率優異、操作簡便、靈活、蒸發能力等優點。VARIAN 3290系統完全自動化,可實現可靠的沈積和可重復的結果。它還提供直徑可達300毫米的各種基材，並與包括氧化物和金屬在內的標準濺射目標兼容。其高精度單元允許對沈積過程進行更精細的控制，使用戶能夠創建具有不同材料和厚度的復雜多層體系結構。3290機采用磁控管濺射工藝沈積材料塗層。該工具采用單絲陰極偏置式濺射槍設計，由射頻電源供電。該槍利用旋轉磁場控制濺射時產生的弧線，達到了較高的加工效率。使用射頻偏置電壓可以提高沈積速率。該資產與確保清潔和安全運行的氣體進氣模型完全集成在一起。它具有控制空氣流動和純度的集成高真空室，以及保證膜質量的自動抽水選項。此外，水循環設備有助於在過程中保持最佳溫度，防止過熱和可能損壞的部件。VARIAN 3290具有直觀的控制系統,可提供出色的過程數據讀數和過程控制。這包括手動和自動沈積監測，以及有助於確保用戶安全的警報和保障措施。此外,該單元允許同時生產多種薄膜體系結構,同時提供每個過程的詳細信息。總體而言，3290是產生精確、可重復的薄膜沈積結果的可靠方法。其先進的功能使其成為研究和生產應用的熱門選項,並具有高精度控制和靈活的體系結構選項。它是任何濺射過程的完美解決方案。
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