二手 VARIAN 3290 #9075492 待售
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ID: 9075492
晶圓大小: 6"
Sputtering system, 6"
(3) Target assemblies: Conmag II
Station 1: Heated etch with AE RF-10 power supplies
Station 2: Heater table with conmag II
Station 3: Heater table with conmag II
Station 4: Heater table with conmag II
(4) Temperature controllers: Eurotherm 818
Controller: Fluke 1722A modified with flash drive and floppy drive
Multimeter: HP 3438A
Ferrofluidic transfer plate feedthru grade
(3) Ferrofluidic shutter feedtrhu upgrades
Ion gauge controller: Varian 880
Remote power supply panel
Digital readout
Etch matching unit controller with digital readout meters
RF RWD and REFL remote meter panel
Cryo pump: CTI CT-8 with SC compressor
Dry scroll mechanical pump: no
Power supplies:
Target 1: Inner 2.5kW, outer 12kW
Target 2: Inner 2.5kW, outer 12kW
Target 3: Inner 2.5kW, outer 12kW
Currently warehoused
1989 vintage.
VARIAN 3290濺射系統是一種用於薄膜沈積工藝的高性能設備。其主要目的是將金屬、氧化物和半導體的薄膜沈積在一系列用於各種應用的基板上。3290采用高水平的工藝控制和大範圍的能力，生產用於集成電路、平板顯示器、MEMS和太陽能電池應用的優質薄膜。它通過三個截然不同的參數實現了這一點：陰極、可調電盤和可調通量源。陰極是要沈積在基板上的材料的來源。這通常是一根導線，如鋁、鈀或金，但其他惰性材料如鉻也可能被利用。電線濺射到基板上，可以放在可調板上。可調板可以控制基板的角度和在基板上均勻沈積的旋轉。可調通量源提供均勻的屏蔽，以防止任何可能破壞沈積過程的離子。通量源也提供了一定程度的背景中和，通過提供電子的壓板。VARIAN 3290還具有廣泛的可自定義沈積參數，允許用戶以各種厚度沈積多種材料。這些參數在選擇沈積速度、電壓、基體溫度和氣體流量方面具有很大的靈活性。3290濺射系統可靠高效，提供卓越的膠片質量，具有較高的重復性和重復性。其廣泛的功能和過程參數為用戶提供了產生所需結果所需的控制。其用戶友好的界面和復雜的設置協議使其成為任何薄膜沈積工藝的理想選擇。
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