二手 VARIAN 3290 #9139677 待售

VARIAN 3290濺射設備是一種獨特的用於金屬和介電薄膜沈積制造的儀器。專為生產優質金屬或介電薄膜和高溫平面MOS器件而設計。3290提供從1到4個目標的金屬和電介質的高通量濺射,功率範圍可達5kW。該系統通過提供對沐浴參數的現場控制，能夠提供廣泛的濺射背景。VARIAN 3290的骨幹是其集成的真空發電單元，它提供了超快的真空吞吐量，工作範圍低至1 x 10-10 Torr。該機還具有多面沈積室，利用高性能磁環電離（HPMCI）保證基板的均勻性。它還由低運行成本的VARIAN直流濺射源供電，在保持高沈積時間的同時降低能耗。除了基本功能外,3290還提供多種可選設備。這包括一系列的傳感環境，可以直接測量溫度、壓力和沈積材料的電氣特性。這個工具還有一個動態膜測量資產，它允許在沈積過程中對各種材料的表征進行精確控制。該型號還具有高度先進的Server Equipment,它允許對整個濺射過程進行遠程控制。它能夠同時控制多達8個目標,並提供自動化的數據收集功能。它還具有一個復雜的真空泄漏檢測功能，它允許一個快速和容易的泄漏檢測過程。VARIAN 3290為高耐用性打造，生產高質量的薄膜，最大厚度為2 µm。它由一系列客戶服務選項支持,包括現場維護和驗證。該系統能夠產生可重復的結果，而無需頻繁校準或修改，使其成為生產高性能材料的理想選擇。