二手 VARIAN 3290 #9148904 待售

VARIAN 3290濺射設備是用於磁光和透明導體等薄膜應用的最先進的沈積儀器。這種直流濺射工具主要用於金屬氧化膜的沈積，但也可以沈積金屬和其他材料。該系統由離子槍、基座和腔室組成。離子槍被用來製造一個等離子體場來激發來自目標材料的原子，然後將原子沈積在基板上。基座用於支撐加工室內的基材和目標材料。該腔室本身是用氙氣密封加壓的，以確保清潔安全的濺射環境。3290具有多種特性，使其成為薄膜濺射的理想單元，包括專利的有源目標冷卻機。該工具可確保目標材料能夠快速冷卻,提供比標準目標冷卻系統更有效的均勻沈積速率和冷卻。此外,此資產能夠在多種條件下運行。它可以在3 mTorr到5 millitor和0-50 Celsius的壓力和溫度範圍內操作。這使得VARIAN 3290成為各種過程的理想模型，如反應性濺射、多層沈積和脈沖濺射。該設備還提供了一個強大的過程控制系統，能夠生產高質量的薄膜具有廣泛的成分。3290濺射裝置還提供了廣泛的安全特性。其中包括壓力/真空閥、緊急停止按鈕和射頻關閉等安全系統。此外，密室設計有密封，防止任何有害汙染物或顆粒進入沈積環境。這樣可以確保濺射機在其預期參數內安全運行。總體而言,VARIAN 3290是一種可靠且可靠的濺射工具,具有多種功能和特點。這一資產在廣泛的溫度和壓力範圍內提供高質量的存款和均勻的薄膜。此外，該模型還設計並配備了安全功能，以確保其安全運行在預期參數範圍內。因此，3290是各種薄膜應用的理想沈積儀器。