二手 VARIAN 3290 #9154647 待售
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ID: 9154647
晶圓大小: 6"
Sputtering system, 6"
Entity target configuration:
Process station #1: HARD ETCH
Process station #2: ALSI
Process station #3: ALSI
Process station #4: ALSI
Process station cathode configuration:
Station #1: Etch
Station #2: Con-Mag 2
Station #3: Con-Mag 2
Station #4: Con-Mag 2
Heater configuration:
Heater type (All Station): DC BIAS
Heater controller(AII Station): (3) Eurotherm 808, (1) Eurotherm 3508
Power supply configuration:
RF Gen. station #1: RF-10S (1KW max)
Inner PSU station #2: 2.5 KW
Outer PSU station #2: AE PINNACLE 12 KW
Inner PSU station #3: 2.5 KW
Outer PSU station #3: AE PINNACLE 12 KW
Inner PSU station #4: 2.5 KW
Outer PSU station #4: AE PINNACLE 12 KW
System vacuum configuration:
Compressor: Model 8150
8R Cryo pump: Yes
Water pump: No
Software configuration:
User's guide: ECS 3000
Version: 96.204.10U1
Floppy drive: 3.5"
Double cassette loading: Yes.
VARIAN 3290是一種精密的大功率直流濺射設備，由科學和實驗室設備的主要供應商VARIAN制造。該系統旨在在磁盤、晶圓和管材等基材上創建薄材料層。它能夠為各種應用精確沈積薄膜，從半導體器件到裝飾產品。該單元包括各種用於濺射各種材料的配件，包括不銹鋼、鋁、其他金屬、陶瓷和氧化膜。3290具有直流電濺射技術，納米級沈積技術。該技術利用真空室內受控的低壓環境，允許用電子轟擊濺射目標，在基板上形成薄膜。這種轟擊導致薄膜原子從目標材料中噴射出來，然後沈積到基板上。這項技術高度精確，允許在基材上沈積各種物質的均勻層。VARIAN 3290最大功率輸出為5.4kW和三個獨立陰極。這樣可以快速沈積多層堆棧結構,這是復雜的多層應用程序的一個重要功能。張力範圍可以從0v調整到5kV以調整濺射過程。這臺機器還具有主動冷卻系統,即使在高功率輸出的情況下,用戶也可以調節電源傳遞,防止在延長使用期間過熱。此外，該工具還具有自動壓力感應資產，可不斷監測和調整腔室壓力。3290是一個先進的模型，提供了其他系統所沒有的一系列特征，並允許薄膜和均勻層結構的精確沈積。VARIAN 3290結合堅固的結構和耐用的部件,為各種薄膜沈積項目提供了出色的解決方案。
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