二手 VARIAN 3290 #9171588 待售
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已售出
ID: 9171588
晶圓大小: 6"
Sputtering system, 6"
Metal: AL Process
Main body
Etcher station
Electronics rack
(3) Deposition stations
(3) Plane targets
(3) VARIAN Water cooled type Gen1 DC power supplies
FLUKE Controller
CTI Cryo pump with compressor
RF Generator
Roughing pump (Oil type)
Gun source type
Currently de-installed.
VARIAN 3290濺射設備是業界領先的真空塗層工具,設計用於大規模沈積作業。它是市場上最可靠、最易於使用的系統之一,具有多種特點,有助於提高生產效率和優化操作過程中的基板和腔室溫度。3290利用直流電系統確保薄膜沈積均勻,這是獲得理想結果的一個至關重要的因素。該裝置設計成運行速度非常快,這意味著操作員可以在更短的時間內塗覆更多的基材。VARIAN 3290還具有高級自動化功能,可減少設置、關閉時間,並消除許多手動操作。有了隨附的圖形界面和菜單驅動的軟件,3290使用簡單,易於編程。VARIAN 3290還提供了多種靈活的配置,以滿足各種應用和基板的需求。其電源從500瓦可調至3000瓦,用戶可根據容量要求選擇2、4、6、8或12號濺射室機。該工具還包括一個高效的熱管理資產,有助於保持腔室溫度和降低材料成本。安全方面,3290是市場上最安全的濺射系統之一。該模型設計有內置的安全功能,包括一個屏蔽開放指示器,在操作前提醒用戶電離氣體的存在,以及一個緊急停止開關和真空損失指示器。它還獲得了符合CSA標準C22.2 135-12的真空塗層系統認證,提供了符合嚴格安全標準的保證。VARIAN 3290是一種可靠高效的濺射設備,非常適合任何大規模沈積作業。它有助於減少停機時間並最大程度地降低材料成本,並且易於使用其高級自動化和直觀菜單。這使得它成為尋求擴展其真空塗層工藝能力的組織的絕佳選擇。
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