二手 VARIAN 3290 #9174775 待售

VARIAN 3290濺射設備設計獨特,可為各種材料和應用提供強大、高性能和先進的濺射和蒸發能力。這種高水平的性能是通過其精心設計的在級部件實現的，其中包括一個精確控制的直流高頻電源，三個渦輪泵送和渦輪分子泵送超高真空電平（UHV）的選擇，對濺射室和真空電平的一觸式控制，以及多種先進功能。3290的高性能得益於其先進的設計和工程元素，包括其具有非易燃無毒氣電催化劑的完全密封的釋放閥，以及它的高真空室，其中包括了疏散的氙氣環境和獨特的加熱系統的組合。此外，電源效率高，控制精確，而濺射室提供精確、可靠的基板控制。VARIAN 3290還提供了廣泛的應用，包括薄膜沈積、金屬和氧化物濺射、蒸發和蝕刻。該裝置能夠提供精確、均勻的多晶和單晶靶標沈積，也可用於在剛性和柔性基板上的薄膜沈積。受溫控制的基板卡盤使其成為高溫過程的理想選擇,其易於使用的特性使安裝和操作過程更加快速。3290還具有雙源操作，使得兩種不同的基板可以同時濺射。這樣可以確保以最小的停機時間實現最大的工藝速度,並使用戶可以更好地控制沈積參數。此外，機器還提供關於壓力和真空水平的精確反饋，從而實現精確可靠的過程控制。總體而言,VARIAN 3290是一種高度可靠的高級濺射工具,它提供了一系列高度通用和高效的沈積功能。其強大的設計、精確的控制和易於使用的特性使其非常適合各種薄膜沈積、濺射和蒸發應用。