二手 VARIAN 3290 #9226098 待售

VARIAN 3290濺射設備是一種經濟高效、可靠的高通量薄膜沈積解決方案。它設計用於工業和實驗室環境。它具有一個可容納多達10個直徑不超過9英寸的基板的加工室。腔室設計由三個RF/DC等離子體源組成，它們可以獨立調節速率和均勻性。也有可調的水流率進行冷卻。該系統配備了兩個不同的工藝容器，包括一個最多有四個源持有者位置的源桶，以及一個同樣有四個源持有者位置的提取器桶。源可以快速、輕松地更改。3290還具有多種電源和過程控制選項。這些控制允許精確的薄膜沈積。溫度、壓力、泵速都是可編程的。有外部轉子傳動，使壓力和泵速得以調節。這有助於確保濺射層的均勻性。VARIAN 3290還包括多種安全特性。其中包括只要閘閥打開就可以防止電源通電的互鎖，以及防止過熱的冷卻裝置。除了提供可靠的薄膜沈積所需的安全特性外，3290還提供了極好的成本節約。通過最大限度地減少維護停機時間,公司可以大幅降低總體運營成本。它也很容易安裝和操作，即使對於沒有經驗的人員也是如此，使其成為許多工業和實驗室應用的理想之選。VARIAN 3290濺射機是許多工業和實驗室薄膜沈積應用的可靠且經濟實惠的選擇。它具有可調功率速率、溫度、壓力和泵速控制功能,可精確沈積各層。它還易於安裝和操作，可以顯著降低運營成本。