二手 VARIAN 3290 #9226265 待售

VARIAN 3290是一種幹式、靜電、高真空濺射設備，設計用於薄膜塗層的沈積。該系統在一個獨立的單元中提供三種沈積技術-直流電（DC）、脈沖調制直流電（PMDC）和射頻（RF）。該單元的工作原理是在真空室內產生一個塗層材料和Ar氣體的等離子體，然後向基板加速。塗層材料通常是合金--如鈦、鉻和鋁--盡管可以使用其他金屬和非金屬。在濺射過程中，等離子體轟擊中帶正電的離子侵蝕目標材料，一些發射的粒子隨後被整合到基板上的塗層中。3290機由抽水機、電源、控制器、多目標、射頻工具以及溫度和真空監測設備組成。它有兩個或四個磁控管，取決於應用，每個磁控管的額定功率高達100瓦。磁控管與電源耦合，為濺射沈積提供必要的電壓和電流。控制器提供可調功率級別、目標選擇和基板溫度控制。該資產還具有一些旨在防止模型故障的安全功能。電壓可以限制在最大5 kV，並以設定的間隔監控電源，以防止過熱。設備還配備了自動釋放壓力，以便在氣體積聚過多的情況下安全運行。VARIAN 3290有多種尺寸，可容納直徑達500毫米、重量達50公斤的多種基材。它也是用戶友好的，可以編程為允許在某些時間為擴展運行濺射。該系統及其組件的可移植性使其非常適合現場應用。總體而言，3290是一款可靠易用的高性能濺射裝置。它能夠用各種材料填充或塗覆各種基材，其先進的安全特性允許可靠和安全的操作。