二手 VARIAN 3290 #9227752 待售

VARIAN 3290是一款高端濺射塗層設備，旨在滿足不斷增長的對更高質量、更經濟高效、更可靠的薄膜沈積技術的需求。該系統具有廣泛的可調參數，以確保在整個濺射過程中塗層均勻。它采用一件式鋁制框架設計，保證出色的穩定性和抗振性，並包括主動抗振控制單元，以確保準確、精確的沈積。3290濺射塗層機配置了兩種工藝優化的腔室配置，以實現工藝靈活性和生產效率。兩個會議廳選項；標準（ETC-1）和先進（ETC-2），旨在支持磁控管和直流濺射、等離子體增強離子束沈積、電子束沈積和熱蒸發等多種處理技術。該工具還支持從金屬中廣泛選擇材料的加工技術，其中包括Ti、Al、Cu等、電介質、有機材料和陶瓷。該資產由一個真空密封室和一個射頻匹配網絡組成，該網絡具有多達3個獨立的電源，用於復雜的過程控制策略。啟用了觸摸屏的控制面板,具有實時繪圖、診斷和故障排除功能,可對沈積過程進行緊密高效的監控。VARIAN 3290的擴展壓力範圍（10−11至10−3毫巴）使高壓和低壓處理都能支持氣體和有機物的使用。3290還提供了廣泛的選項,例如滾轉系統、先進的基板處理系統和各種特殊的功能要求。此模型可以針對研究、原型設計或印刷電路板、集成電路、平板顯示器和磁性記錄介質等大體積塗層應用的特定需求定制。VARIAN 3290的設計具有良好的工藝理解以及可重復和可靠的工藝結果。此外,它的有效性和靈活性使其成為許多工業、研究和消費者應用的熱門選擇。