二手 VARIAN 3290 #9236342 待售

VARIAN 3290是由VARIAN Semiconductor Equipment Associates, Inc.制造的先進濺射設備。該系統專為多種應用而設計，包括薄膜的制造、復合半導體器件的生產以及微加工。3290具有許多獨特的特點,例如其獲得專利的磁控管濺射技術,可提高濺射速率並產生具有改進的均勻性和附著力的薄膜層。該單元還具有集成的等離子體蝕刻能力，具有可編程的過程變量和端點檢測，以進一步提高過程控制。這種等離子體蝕刻工藝可以用來產生狹窄的溝槽和精細的特征。此外，VARIAN 3290由於其廣泛的電源供應，具有較高的沈積速率。它可以容納範圍廣泛的腔室尺寸，從6英寸到14英寸，最多四個濺射源。利用可調節的傾斜特性，濺射源可以精確瞄準基板。該機還具有快速基板加熱能力，具有集成的熱電偶和PID控制，允許溫度控制降至25°C。3290還有一個先進的基於計算機的流程控制工具，通過允許操作員訪問實時流程數據和趨勢分析，幫助簡化流程開發並產生優化效果。還集成了數字激光幹涉儀資產，用於測量和監測總厚度的對準和均勻性，同時在納米級提供對端點厚度和層厚度的精確控制，以達到高精度。該車型還配備了廣泛的安全特性。它具有兩級用戶身份驗證、入侵者監視、火災報警設備、溫度過載保護和ESD/EMI保護。此外,VARIAN 3290系統的設計符合FDA標準,以確保異常安全和高效的工作環境。綜上所述,3290濺射裝置是一種高級解決方案,具有多種功能,可幫助提高生產能力和提高工藝控制。其創新的磁控管濺射工藝、集成的等離子體蝕刻能力、各種腔室尺寸、可調傾斜特性、快速基板加熱、先進的過程控制機、激光幹涉儀工具，使其成為多種應用的理想選擇。