二手 VARIAN 3290 #9236343 待售

VARIAN 3290是一種濺射設備，設計用於將金屬、氧化物、氮化物和其他濺射材料的薄膜沈積到基板或靶上。濺射是半導體器件制造中使用的一種工藝，用於將材料薄膜從真空密封室沈積到基板上。3290是一種三源、高通量的工具,具有並排的基底單元,可實現高效生產。該系統以大約1x10-7Torr的腔室壓力運行，並允許通過射頻功率、斷開時間和目標基板功率配置來操縱沈積速率和沈積均勻性。VARIAN 3290還可以配置一系列濺射氣體。它能夠處理尺寸不超過8英寸的基板，使其適合各種應用。該設備配備了一個機器人裝載機，在加載指令和遠程作業執行方面提供了靈活性，使機器能夠順利運行。3290還配備了先進的真空控制、壓力和溫度傳感器以及故障定位功能。所有這些特性使得它適合在生產和研究環境中使用。該工具提供方便靈活的自動化控制,並提供優異的效果。用戶可以從Web瀏覽器訪問VARIAN 3290,從而實現遠程配置和控制。它還提供實時診斷,允許優化過程。此外，該資產提供了卓越的均勻性和沈積性能，使其成為各種應用的可靠模型。綜上所述，3290是為薄膜沈積應用而設計的可靠、強大的濺射設備。它提供高吞吐量和靈活的自動化,從而實現高效、準確的生產。它的高級功能和控制使其成為研究和生產級別應用程序的理想選擇。