二手 VARIAN 3290 #9236351 待售

製造商
VARIAN
模型
3290
ID: 9236351
Sputtering system Shutter interlock chassis.
VARIAN 3290是為金屬和氧化物塗層應用而設計的緊湊型濺射設備。它利用兩個3英寸(7.62厘米)的磁控管陰極和一個平面陰極以多種材料沈積薄膜和塗層樣品。該系統能夠將保形薄膜沈積在復雜和大面積的基板上,覆蓋範圍均勻。該裝置利用自動噴塗工藝對樣品進行塗覆。這一過程依賴於一個高頻射頻電源,為兩個反向旋轉的磁場產生目標提供一個偏置電壓,創造一個高能等離子體環境,從目標向基板濺射材料。離子化氣體或氙氣被用來提供額外的高能粒子通量,允許更大範圍的薄膜性質和增加的批量生產能力。3290還配備了閉環控制機,允許精確調整濺射速率和均勻性功能。通過對工藝參數的精確控制,可以在大型基板上實現均勻覆蓋的理想薄膜厚度剖面。所有工藝參數都是自動的,從磁場調節到厚度控制.VARIAN 3290是生產高品質薄膜和塗層的寶貴工具。它旨在提供一種簡單、高效的方法來生產各種薄膜和塗層,具有出色的覆蓋面和保形效果。該工具還為批量生產應用提供了經濟高效的解決方案,可用於各種行業,如電子、汽車、航空航天和光學元件。
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