二手 VARIAN 3290 #9236357 待售

VARIAN 3290濺射設備是將材料薄膜沈積到基板上的通用工具。由VARIAN Inc.開發的3290是一個單室系統，能夠執行標準的濺射沈積和濺射蝕刻過程。它配備了一個易於使用的離子源，它利用一束聚焦在一塊聚光光束上的氙原子，在直徑達6厘米的地方濺射金屬或其他物質目標。VARIAN 3290是一個高度可靠的單元，允許高達每分鐘35納米的快速沈積速率。3290具有對沈積速率、離子電流、離子能量、氣壓控制等工藝參數的良好控制。機器的控制器可以很容易地編程，以確保沈積過程的精確控制。VARIAN 3290還可以用於在濺射前清洗基板表面，通過自動等離子清洗操作，可以通過工具的控制器輕松監控。3290支持多種測量和診斷，如原位離子電流和溫度測量。這樣就可以準確、一致地沈積薄膜，而無需額外的計量設備。此外，VARIAN 3290還有一個智能處理室，設計用於在整個目標上實現最大的電離效率和濺射速率均勻性。3290在功耗方面也很高效。它只需要一個單一的13 AMP供應就可以操作，使得它非常適合空間是稀有商品的應用。此外，VARIAN 3290的工藝室可以很容易的隔離、密封、通風，以達到最佳的安全性和性能。總體而言，3290是一種極好的濺射資產，能夠以快速沈積速率提供高質量的薄膜。它具有強大的過程控制能力、節能施工能力以及同時執行標準濺射沈積和濺射蝕刻過程的能力。VARIAN 3290是一個理想的選擇，任何人尋找一個可靠和高效的模型為他們的沈積需求。