二手 VARIAN 3290 #9236365 待售

VARIAN 3290是一款前沿濺射設備，旨在滿足半導體和薄膜用戶的需求。該系統能夠使用低壓濺射沈積或離子束濺射沈積技術，對金屬、介電、矽和半導體等多種材料進行薄膜沈積。另外還有一個配套裝置VARIAN 3300，它是為超高真空過程而設計的，能夠實現更快的沈積速率。3290采用模塊化設計,使其能夠重新配置以滿足各種需求。它可以很容易地配置各種旋轉和傾斜的磁控管構型，使氧化物、氮化物和金屬薄膜沈積在各種底物上。機器內強大的電磁體允許高密度和均勻的沈積速率。VARIAN 3290還配備了兩種不同類型的陰極直流電源：標準幹式電源和功能更強大的濕式電源。幹式電源具有較好的沈積特性，因為它效率高，能產生較窄的電流脈沖。濕式電源適用於需要較高電離通量以改善沈積物的工藝。該工具還具有完全可定制的溫度控制級，允許在操作過程中精確加熱基板。該級可以容納各種溫度曲線，以確保薄膜在基板上的最佳沈積。此外，3290可以容納各種各樣的基板，從錯綜復雜的納米材料到大面積的微電子基板。此外，資產還配備了兩個不同的負載鎖，用於高效的基板轉移和清潔過程。負載鎖采用先進的冷卻模型設計,可確保對整個設備的溫度進行精確控制。這種冷卻系統還有助於保護設備中的敏感部件免受機械應力的影響。總體而言，VARIAN 3290是一種高度可定制的濺射機，設計用於在各種材料和基板上精確沈積薄膜。同時，它的模塊化設計和先進的組件允許在操作過程中實現最大的效率和控制。該工具非常適合廣泛的半導體和薄膜應用。