二手 VARIAN 3290 #9236366 待售

VARIAN 3290是一種濺射設備，廣泛應用於半導體和材料行業，用於沈積金屬、半導體、氧化物等材料的薄膜。3290利用廣泛的配置選項來執行各種沈積過程。它允許精確控制,並具有內置的安全功能,以確保可靠和可預測的結果。其高效運行有助於降低材料成本和生產成本。它具有很高的工藝精度、可重復性和控制性，這對於即使是很小的變化也能產生很大影響的薄膜結構很重要。VARIAN 3290利用高效三極管磁控管濺射源。這種類型的濺射允許在大基板上非常均勻的沈積，使其成為更大效率多氯聯苯的理想選擇。系統配有大功率陰極，加速電子進行濺射。陰極可產生高達30千瓦的有效離子電流，即使在低濺射壓力下也能提供廣泛的活性。3290的高效基板加熱單元利用感應線圈瞄準基板表面。這樣可以同時進行基板溫度控制和基板旋轉,從而確保均勻的加熱和薄膜厚度。基板溫度和基板旋轉均可在濺射過程中調節，以保持均勻沈積。VARIAN 3290具有高級狀態顯示功能,因此用戶可以檢查操作條件並快速排除任何問題。3290還包括一個配方驅動的程序，使所有過程步驟自動化，並確保過程質量控制。這樣就更容易復制以前的沈積參數，降低沈積過程中底物損壞的風險。總體而言，VARIAN 3290是一種先進的濺射機，非常適合材料和半導體工業，大量用於沈積各種材料和組件的薄膜，用於動態應用。其高效率、可靠的工藝控制、高均勻性和靜態沈積，使其成為許多不同應用的寶貴選擇。