二手 VARIAN 3290 #9236371 待售

VARIAN 3290是一種用於薄膜沈積的稀有氣體濺射設備，用於要求最苛刻的薄膜沈積應用。它通常由一個直流或脈沖磁控管濺射源、一個獨特的基板支撐平臺組成，這種平臺能夠在基板和基板之間進行可重復的交配，以及具有儀表和互鎖的高效真空泵送系統。該單元通常由一個大圓柱形腔室組成，該腔室裝有頂部安裝的濺射目標，該目標圍繞基板支撐平臺布置。該平臺可以以高度可重復的方式上下移動,以精確匹配目標基板距離,並且根據應用,一次最多可沈積3個基板。該腔室設計為在2 x 10^-9 Torr或更高的超高真空（UHV）壓力下工作。采用渦輪分子泵（TMP）產生特高壓條件。濺射源可以是直流磁控管，也可以是脈沖磁控管，能夠很好地控制沈積速率和組成（例如Ti/Al氧化膜）。直流或脈沖目標裝有提高蝕刻速率均勻性的屏蔽，在某些系統中也可以傾斜以幫助均勻性。還采用特殊的陰極安裝，防止目標短路到腔壁，確保操作可靠。最後，3290配備了用於基板旋轉和傾斜、電流和電壓到目標的過程監測和控制儀器、用於監測腔室壓力的質譜儀、自動基板對準和適應性熱加熱器，以便對基板進行溫度控制。綜上所述，VARIAN 3290是一種用於高質量、可復制薄膜沈積的強大濺射機。它在光學塗層、半導體和MEMS器件制造和OLED顯示器制造等許多要求苛刻的薄膜沈積應用中受到青睞。