二手 VARIAN 3290 #9236452 待售
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VARIAN 3290濺射設備是工業和研究使用的強大工具。能生產高純度、化學計量成分、膜厚控制嚴密、沈積率高的薄膜。該系統利用大容量真空室和一系列目標,這些目標是用帶電粒子或離子炸開的材料,以便在基板上形成薄膜或塗層。3290單元裝有一個高真空室,能夠抽出空氣傳播的粒子,並將大氣壓降低至.001 Torr。這樣就能夠沈積具有完美均勻性和精確特性的薄膜,如電、結構、光學或磁性。腔室還包含精確的溫度控制,有利於薄膜材料的高效生長。目標安裝在腔內,可以由金屬、陶瓷和電介質制成。這些材料被高能離子轟擊,以便濺射。室內存在的氣態物質會與生長的薄膜發生反應,這決定了薄膜將具有的性質。VARIAN 3290濺射機的效率和精度來自於其數字拋物面反射鏡磁控管工具。這一資產提供了均勻的濺射,使沈積速率比傳統的濺射系統提高了20倍。模型的磁控管能夠控制粒子路徑,從而提高了產生的薄膜的均勻性和均勻性。3290設備非常適合太陽能電池、顯示器、光學傳感器和微機電系統等應用。其提供高沈積速率、精確控制和同質性的能力,使其成為許多不同部門工業和研究使用的絕佳工具。這種濺射系統是開發和制造各種薄膜產品的強大而可靠的工具。
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