二手 VARIAN 3290 #9236473 待售

VARIAN 3290濺射設備是各行業用於表面塗層和沈積應用的有力工具，在薄膜沈積中提供了出色的附著力和均勻性。該系統由一個高性能腔室組成，能夠持續高溫和真空過程，也能在低溫下運行。3290單元的主要部件包括一個多位置負載鎖；渦輪分子泵浦的高真空室、濺射源和上部壓板組件。此外，該機還包括高真空渦輪泵和低真空隔膜泵。渦輪分子泵為高、超高真空應用提供了卓越的性能，還具有可變速度控制，可提高工藝吞吐量。設計了VARIAN 3290工具的多位置鎖載室，以最大限度地提高吞吐量和生產率。它可以快速裝載和卸載基板，而且還可以調節以容納各種尺寸和形狀的基板。該資產還支持各種沈積過程，包括常規和磁控管濺射、脈沖濺射蝕刻和熱蒸發。3290's sputter source are designed to product excellent uniformity, even at high through rates, with a life selection of target materials and shapes.預設的目標角度可確保均勻性並確保一致的濺射覆蓋。此外，目標材料和形狀可以很容易地調整，以適應所需的沈積過程。上部板式組件采用可互換元件設計,可提供多種處理功能。它還允許對不同的基材尺寸、形狀和材料進行有效的真空密封。VARIAN 3290旨在為高通量薄膜沈積提供最佳效果。這種型號是研發的絕佳選擇，因為它是一種通用且用途廣泛的濺射設備，具有很高的可靠性和成本效益。此外,它易於使用的控制和處理基板尺寸和材料類型的能力使其成為商業應用的理想選擇。