二手 VARIAN 3290 #9240545 待售

VARIAN 3290是一種高真空濺射設備，采用獨特的陰極電弧磁控管將沈積材料濺射到基板或組件上。它是一種通用工具，用於塗覆小零件和原型新材料或工藝。該濺射系統由多個隔離的高真空室組成，具有直觀的圖形用戶界面，便於操作。在3290的初級腔室中，氣體由渦輪分子泵與冷凍泵耦合排出，腔室由高效石英鹵素燈加熱，從而實現更好的膜粘附甚至沈積。腔室還有一個旋轉的石英管，允許快速的基板旋轉和出色的均勻性。該單元中使用的陰極電弧磁控管產生電流產生的電弧，然後用來從陽極濺射目標材料。先進的磁控管裝置為最佳的薄膜質量和沈積速率提供了通用、精確的功率。二次室包含一個陶瓷真空室，可以裝載任何沈積過程的基板。該室包括可承受極端溫度的多層真空絕緣層，可在基板上進行多層沈積和精確蝕刻。此外，它還包含一個安裝在室底的水槽，用於收集和清除濺射物質。自動控制機器允許VARIAN 3290遠程操作,並具有多種操作選項,包括刀具寬設置和沈積參數。該資產還具有多個真空閥和波紋管，以保持每個腔室的壓力。此外，3290還采用了離子轟擊模型，通過磁力加速低壓室中的離子來幫助優化沈積層的附著力，防止它們與底物接觸。該設備還配備了光學計量系統，用於測量沈積層的精確厚度。總體而言，VARIAN 3290濺射裝置是塗層小零件和原型開發的理想選擇。其獨特的陰極電弧磁控器，加上自動化的控制機器，多個真空室和閥門，以及通用的離子轟擊工具，允許精密的材料沈積，具有出色的附著力和均勻性。